Фемтосекундный лазер в импульсном режиме для ударного сверления стекла сверху вниз.
Группа исследования взаимодействия лазер-вещество в Институте интенсивных лазеров и приложений (СЕЛИЯ) в Университете Бордо, Франция, исследовал новый методстекло для микросверленияс использованием фемтосекундных лазеров в импульсном режиме гигагерцового диапазона. Соответствующее исследование было недавно опубликовано в Международном журнале экстремального производства.
Используя фемтосекундные лазеры в импульсном режиме ГГц, исследовательская группа разработала новый метод микрообработки стекла, который позволяет сверлить вытянутые отверстия без конусности с гладкими внутренними стенками и без трещин в стекле. Как правило, при сверлении с помощью стандартного одиночного фемтосекундного импульсного лазера получаются конические отверстия ограниченной длины и шероховатые внутренние поверхности.
Этот новый механизм взаимодействия лазера с веществом позволяет сверлить отверстия с высоким соотношением сторон непосредственно за один этап без какого-либо химического травления. Выбор параметров лазерного импульса очень важен для получения хорошего качества микрообработки. Режим фемтосекундных лазерных импульсов может проложить путь для новых приложений, таких как микроэлектроника, где кремниевые промежуточные продукты, вероятно, будут заменены стеклянными промежуточными продуктами.
