Как мы все знаем, есть только один производитель в мире, который может производить EUV-литографию, это голландская ASML.
И причина, по которой он единственный в мире, заключается в том, что ASML будет объединять множество ключевых производителей, таких как немецкая оптическая компания Zeiss (Zeiss), а затем Cymer из США, а затем немецкая группа Tom Fast Group (TRUMPF). ) и так далее.
ASML привязал этих производителей к своей колеснице посредством инвестиций, приобретения, владения акциями, создания исследовательских центров и т. д., и эти производители, вероятно, единственные производители в мире, которые могут производить эти продукты, поэтому в конечном итоге только ASML может производить литографию EUV. в мире.
Однако недавно ключевая цепочка поставок ASML перешла в Шэньчжэнь, Китай, для строительства завода, а его дочерняя компания в Шэньчжэне обосновалась в китайско-немецком (Европа) промышленном демонстрационном парке Баоань.
Этим производителем является немецкая компания Tom Fast Group (TRUMPF), компания ASML по литографии EUV, единственный в мире поставщик лазерных источников.
Насколько важна продукция TRUMPF в литографии EUV? Во-первых, позвольте мне объяснить принцип EUV-литографии, вы поймете.
Проще говоря, принцип литографии EUV основан на трех основных системах: системе источника УФ-излучения EUV, системе линз объектива и системе стола.
Конкретный процесс заключается в использовании лазера для возбуждения экстремального ультрафиолетового света с длиной волны 13,5 нм, а затем после коррекции для формирования управляемого луча света, а затем этот пучок света проецируется на стол фотомаски, а затем проецируется через объектив. зеркало к столу для экспонирования и, наконец, вытравил схему на кремниевой пластине, покрытой фоторезистом.
Одна из систем источника УФ-излучения EUV получается путем бомбардировки капли металлического олова (Sn) CO2-лазером мощностью 30 кВт, испарения ее в плазму и, наконец, получения света EUV с длиной волны 13,5 нм.
Этот CO2-лазер мощностью 30 кВт предоставлен компанией TRUMPF, единственным в своем роде в мире.
Не стоит недооценивать этот CO2-лазер, он состоит из 457 329 частей, длина кабеля в системе достигает 7 322 метров, а вес составляет 17 090 кг, что является одним из наиболее важных основных компонентов в литографии EUV.
Теперь TRUMPF побежал в Китай, чтобы построить завод, намерение ясно, то есть с оптимизмом смотрит на китайский лазерный рынок, и даже более долгосрочный взгляд, с оптимизмом смотрит на китайский рынок литографии, будущее может сотрудничать с Китаем для создания литографии EUV .
На самом деле, уже существует более одной цепочки поставок ASML, идущей в Китай для строительства завода, прежде чем KMWE и другие производители также отправятся в Китай для строительства завода.
В соответствии с текущей тенденцией, мы можем с оптимизмом ожидать, что вскоре китайская технология литографии станет большим шагом вперед, и даже объем производства литографии EUV также может рассчитывать на это, как вы думаете?
